인프리아는 아무래도 스타트업 기업이라서 그런지 학회 발표를 자주 하는 편인데, 자신들의 금속 산화물 레지스트가 기존 유기물 폴리머 레지스트보다 더 뛰어난 장점들을 이렇게 소개하고 있습니다. 그 중에서도 금속 물질이기 때문에 빛을 받아들이는 흡수율이 CAR보다 4배나 높다는 것을 가장 큰 장점으로 꼽습니다. 또한 에칭 과정의 선택성이 높다는 것, 즉 필요한 부분이 같이 잘려나가는 비율이 낮다는 것도 장점입니다.

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업계는 이미 인프리아의 가능성을 높게 보았는지 2014년과 2017년에 걸쳐 수백억을 투자했습니다. 이 때 인프리아에 투자한 기업들이 삼성전자, AMAT(반도체 장비 업계 선두주자), 인텔의 산하 벤처 캐피털, 그리고 위에서 언급된 기존의 레지스트 공급사인 JSR 등입니다. 삼성은 이미 수 년 전부터 미래의 레지스트에 투자해 온 것입니다. 인프리아는 이 때 받은 투자액으로 양산 시설을 본격 늘린 것 같고, 생산량도 올해 들어 달마다 쭉쭉 늘어나는 것 같습니다.

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그러므로 만약 삼성이 5nm, 3nm 등등 미래 공정에서 인프리아의 non-CAR 레지스트를 적극적으로 사용한다면 포토레지스트의 탈-일본화는 충분히 가능할 것 같습니다. 미래 공정에 쓰이기에 퍼포먼스가 충분하며 일본 업체도 아닙니다. 여전히 한국은 아니고 미국 기업이지만 삼성전자가 이미 상당액을 투자했고, 양산 시설 및 물량 확보를 위해 추가 투자하거나 여차하면 아예 인수해버리는 방법도 있습니다. 그러면 TSMC 등의 경쟁자를 차단하는 길이 될 수도 있고요. 그래서 이번 사태 이후 인프리아에 대한 기사가 하나도 없는 것이 놀라운데, 네이버 뉴스에 인프리아로 검색하면 2014년, 2017년 삼성의 투자 뉴스 딱 두 개  나옵니다.

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그래서 미래의 레지스트 대안은 있습니다. 어쩌면 이게 대안이 아니라 유일한 길일지도 모릅니다.

https://m.blog.naver.com/johnlee08/221580234421

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삼성은 이미 일본 소재보다 4배 우수한 EUV용 PR 재조업체에 투자한 상황입니다.

아베와 일본인의 자해공갈은 이렇게 파탄이 나는 군요.