국내 기업이 일본이 독점해온 합성석영유리소재를 국산화하고 양산에 성공했다. 반도체와 디스플레이 석영유리시장의 수입대체 효과가 클 것으로 기대된다.
에스티아이(대표 서태일)는 한국세라믹기술원(원장 유광수)과 공동으로 산·학·연 협력 기술개발사업을 통해 합성석영유리소재를 개발하고 대량생산에 성공했다고 19일 밝혔다.
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합성석영유리는 일본 반도체·디스플레이용 소재 수출제한 품목에 포함되지 않았지만 일본이 96%이상 시장을 점유하고 있어 사실상 독점 소재이다.
수출제한 품목에 포함된 포토레지스트처럼 노광 공정에 사용되며, 차세대 미세공정으로 꼽히는 극자외선(EUV) 노광에 반드시 필요한 소재다. 특히 국내에서 사용하는 합성석영유리는 신에츠(Shinetsu), 니콘(Nikon), 도소(Tosoh) 등 일본 극소수 기업만 생산하고 있다.
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개발한 합성석영유리소재는 EUV 반도체 포토마스크와 공정용 지그 및 기판 등 공정부품용 소재뿐만 아니라 국방과 항공우주 등 다양한 산업에 응용할 수 있다.
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작성일 : 20-02-19 16:51
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