국내 반도체 업체들이 일본산 불화수소 대체재 확보를 위해 작년부터 소재 업체와 협력해 국산화를 추진한 것으로 파악됐다. 일제 강제 징용 배상 판결 이후 일본이 우리 정부를 압박할 의도로 반도체 소재 수출을 규제할 움직임을 보이자 선제적으로 대비를 해온 것이다.

일본의 수출규제가 지난 4일부터 시행된 가운데 국내 반도체 업계가 그동안 준비한 대책으로 여파를 상쇄할 수 있을지 주목된다. 이와 함께 반도체 핵심 소재의 높은 해외 의존도를 낮추기 위한 장기적 연구개발(R&D) 지원과 함께 대·중소기업 간 협업이 과제로 부상했다.

14일 업계에 따르면 국내 반도체 업체들은 소재업체 A사 등과 함께 고순도 불화수소 국산화를 추진하고 있다.

업계는 지난해 일본이 불화수소 수출을 일시 중단하는 등 핵심 반도체 소재를 무기화할 것으로 예상되면서 국내 소재업체와 다각적 협력을 모색한 것으로 파악됐다.

A사의 경우, 반도체 공정 중 잔류물 등을 제거하는 박리액, 불필요한 부분을 선택적으로 제거하는 식각액, 유무기 오염물질을 제거하는 세정액 등을 만들었다. 대일 의존도가 높은 반도체와 디스플레이 공정용 화학 소재 분야에서 지속적인 기술개발을 추진했다. 남은 것은 실제 공정에 사용할 수 있는 지 검증하는 절차다.

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