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삼성전자, 7나노 EUV 공정 개발완료…양산 돌입
업계 1위 TSMC보다 EUV 도입 빨라…화성 전용라인 내년 완공
삼성전자는 2000년대부터 EUV 기술 연구에 돌입, 장비 업체·에코시스템 파트너와 협력해 기술 안정성과 생산성 확보에 집중해 왔다. 반도체 미세공정의 한계를 극복할 수 있는 광원인 EUV도 실제 양산에 적용되기 위해선 새로운 방식의 장비 개발과 인프라 구축이 함께 이뤄져야 하기 때문.
이 회사는 EUV 공정에 사용되는 마스크의 결함 여부를 조기에 진단할 수 있는 검사 장비를 자체 개발하는 데도 성공했다. 또 내년 완공을 목표로 반도체 생산 거점인 경기 화성사업장에 EUV 전용 라인을 구축하고 있다.
업계 한 관계자는 "삼성전자가 파운드리 업계 1위인 대만 TSMC보다도 먼저 EUV 도입에 성공했다는 데 의미가 있다"며 "TSMC는 지난 2분기부터 7나노 공정을 대량 양산체제로 전환했지만, EUV 도입은 내년으로 늦췄다"고 설명했다.