https://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=105&oid=030&aid=0002935272

오 엄지척입니다.

EUV용 포토레지스트도 곧 공급가능할듯


그래도 사용량이 젤 많은 불화아르곤 포토레지스트는 이제 국산화에 성공했다는것이니

정말 다행인듯

이렇게 하나하나 소재 개발해 나가면 되는것입니다.

굳굳. 동신쎄미켐이 EUV PR도 개발중이라고 들었습니다.
이제 EUV 펠리클, EUV 검사장비, EUV 웨이퍼도 수년 내에 내재화 가능하겠네요.
당장 EUV 펠리클도 올해 양산을 목전에 두고 있는 기업이 국내에 두군데나 있습니다.
노광기는 어쩔 수 없지만 나머지라도 잘 해냈으면 좋겠습니다.

노광기는 ASML꺼 주로 들여오지 않나요? ㅋㅋ
일본 외의 기업들은 한국에서 먹고살게끔 하시지요.
그래야 견제도 덜 당하고 그러죠

한때 일본업체 노광기들이 석권했던 때가 있었는데, ASML 등장 이후 조금씩 밀려나다가 EUV 시대부터는 구축당할 위기에 있죠 ㅎㅎ 지금도 노광기 하면 ASML이지만 앞으로 10나노 이하 초미세공정 규모가 커질수록 지배력이 더 강해질 것 같습니다. 노광기가 워낙 부가가치가 큰 장비다 보니까 한국의 소부장 생태계를 응원하는 1인으로서 욕심이 생기는건 어쩔 수 없네요. 다만 기술력 차이는 물론 저걸 개발할 정도의 자본을 갖춘 장비기업이 국내에는 없다고 합니다.

ArF 샘플링 한지는 한 10년도 더 된 것으로 들었는데,
그동안 국내산은 크게 주목을 못 받은 상태로
여태 선반에 있다가, 지난번 사건으로
적용 검토가 끝난 것으로 보이는 군요.

DUV EUV에서는 Solid Type으로도 갈 수도 있다하던데...

아베 덕분에....포토레지스트 국산화 대단하네요

포토레지스트의 Main player인 TOK, JSR, Shin-Etsu 등에 치어서 ArF 샘플링만 오래동아 했던 것으로 들었습니다. 그런데 선반위에 먼지 쌓여있던 것을 아베가 확실히 밀어주는 바람에 당첨되었나 봅니다.

이제는 ArF에서 진전된 EUV에 있어서 삼성도 투자하고 있는 Inpria의 non-CAR(Chemically amplified resists)의 적용확대가 예상됩니다.

한발 쫓아가면 한걸음 더 멀리 가고, 또 갈 일이 생겼네요. 그래서, 삼성과 SK Hynix 등이 한국에 있음으로 국적화된 반도체 생태계를 확보할 수 있게 되었습니다. 아주 좋은 일입니다.

네...정말 기쁜 소식입니다