http://www.thebell.co.kr/free/content/ArticleView.asp?key=202103091242498520107264&svccode=00&page=1&sort=thebell_check_time
<기사요약>
- 필옵틱스는 해외 반도체 장비 회사와 협업을 통해 BSA DI (Back Slide Align Direct Imaging) 노광장비를 개발, 현재 양산 테스트를 진행
- 반도체 노광장비 시장은 미국, 일본, 네덜란드 소재 소수의 업체가 장악. EUV 노광기의 경우 네덜란드 ASML이 독점. 필옵틱스가 양산 테스트를 거쳐 올해 안에 시판하면 국내 최초의 노광장비 생산업체가 됨
- 필옵틱스가 개발하고 있는 BSA DI 노광기는 12인치 웨이퍼 공정에 적용되는 장비, 다이렉트 이미징(DI)을 통해 포토 마스크가 없는 노광을 구현. 고품질 다파장 광원(365~405nm)을 활용.
- 현재 양산 퀄(Qual) 수준의 개발 단계, 이르면 올해 3~4분기에 고객사 양산라인에 진입해 첫 매출이 실현될 가능성이 큼
찾아보니 필옵틱스는 주로 디스플레이용 노광기를 개발해 납품하던 회사인데, 그동안의 기술축적과 개발 경험들을 활용해 이번에는 12인치 웨이퍼 공정에 적용 가능한 반도체 노광기를 개발하는 것 같습니다.
물론 EUV가 13.5nm 정도임을 고려하면 공정에 사용하는 파장이 다소 긴 것 같아 생산 품질은 두고봐야겠지만 다이렉트 이미징(DI) 방식을 사용해 기존과 달리 포토 마스크가 필요없다는 점이 특이하네요. 지속적인 연구와 보완을 통해 점차 개선될 수 있을 것이라고 생각합니다.
아래 링크 들어가시면 노광기 샘플 사진을 보실 수 있습니다.
http://www.philoptics.com/kr/product/product_view.php?idx=13
작성일 : 21-03-16 05:46
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