https://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=105&oid=366&aid=0000414984
삼성전자가 차세대 반도체 생산장비로 천문학적인 금액을 투입하고 있는
EUV 노광장비 연구개발 시작한지 3년만에 드디어 생산성을 확보했네요
삼성전자는 7나노 이하 공정에선 반도시 필요한
이 EUV 노광장비 이용해서 5나노, 3나노까지 최대한 빠른 시일내에 돌파한다는 방침
세계에서 유일하게 이 EUV 노광장비 활용해서 미세공정 진행하고 있는 기업이 삼성전자인데
진짜 대단하네요 ㄷㄷ
<삼성전자의 EUV 노광장비 생산성 확보 현황>
1. ASML로부터 들여온 EUV 일 웨이퍼 평균생산량이 실제 수익을 낼 수준으로 올라선것으로 알려져
2. 일각에서는 EUV가 반도체 생산라인에서 사용된 실증사례가 없어 삼성전자 EUV 투자 실험적이라 평가
3. 그러나 삼성전자는 당초 예상보다 빠른 속도로 EUV 장비 안정화
4. 삼성은 지난 2월 세계 최초로 경기도 화성에 EUV 생산라인 설립