http://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=105&oid=138&aid=0002058945
삼성전자가 화성 17라인(S3 라인, 파운드리사업부 소속)에 극자외선(EUV) 노광 기술을 활용해 7나노 반도
체 생산준비에 들어간다. 바로 옆에 짓고 있는 신공장은 이제 막 토목공사가 끝난 참이고 전기, 케미칼, 정화
, 클린룸 등의 기반공사가 끝날 때까지 기다릴 수 없기 때문이다. 네덜란드 ASML로부터 대당 1500억원이
훌쩍 넘는 EUV노광장비는 지난해 3대 도입했고, 올해 8대가 추가된다. 신공장은 6나노 반도체가 우선이다.
이후 이곳에서는 고객사 확보상황을 고려해 5나노까지 대응한다는 계획이다. EUV를 이용한것은 삼성전자
가 세계최초다. 경쟁사와의 격차를 벌리고 애플, 퀄컴과 같은 고객사를 계속해서 확보하기 위한 복안이다.
삼성전자는 EUV 7나노에 만족하지 않고 내년에 곧바로 6나노 양산을 목표로 삼았다. 이 또한 세계최초다.