커뮤니티
스포츠
토론장


HOME > 커뮤니티 > 경제 게시판
 
작성일 : 18-04-12 19:09
[과학/기술] 표준연 연구진, 50년 플라즈마 난제 풀었다
 글쓴이 : 진구와삼숙
조회 : 2,099  

http://news.nate.com/view/20180412n23858?mid=n0602

표준연 연구진, 50년 플라즈마 난제 풀었다



반도체 품질저하 원인 '이력현상'

반도체 품질저하 원인 '이력현상'
이효창 선임연구원 등 최초입증

국내 연구진이 50여 년 동안 학계에서 풀지 못한 '플라즈마 히스테리시스' 문제를 해결했다.

한국표준과학연구원 반도체측정장비팀 이효창 선임연구원은 반도체나 디스플레이 공정에 품질을 저하하는 고질적인 문제였던 플라즈마 히스테리시스의 원인을 밝혀내고 제어하는 데 성공했다고 12일 밝혔다.

플라즈마는 전자, 이온, 중성기체로 구성된 이온화된 기체를 말한다. 고체, 액체, 기체 이외의 '제4의 물질상태'로 불리며 핵융합에서부터 환경, 항공우주, 바이오, 의학 등 다양한 산업에서 사용된다. 특히 최근에는 반도체와 디스플레이 분야에서 소자의 증착·식각·세정 등 가공 공정 전반에 활용되고 있다.

히스테리시스(이력현상)는 어떤 물리량이 그때의 물리 조건만으로 결정되지 않고 이전에 물질이 지나온 과정에 의존하는 현상이다. 이 현상이 플라즈마 공정 과정에 발생하면 소자 성능과 수율에 치명적인 악영향을 미치지만, 지금까지 이에 대한 원인조차 밝혀지지 않아 원하는 결과가 나올 때까지 시행착오를 반복하는 방법이 최선이었다.

이를 해결하고자 수많은 이론적·실험적 연구들이 시도됐지만, 원인을 밝혀내지 못해 플라즈마 물리학계의 난제로 남아있었다.

연구팀은 정밀 측정법을 이용해 히스테리시스의 원인이 플라즈마 내 전자에너지 분포에 의한 차이라는 사실을 최초로 입증했다.

또 특정 비활성 기체를 주입하거나 생산장비의 외부 조건을 변경하는 방법을 고안해 최적화된 공정에서 안정적으로 플라즈마를 사용할 수 있는 독자적인 제어기술을 개발했다.

이효창 선임연구원은 "우리나라는 반도체와 디스플레이 강국이지만 수십억원이 넘는 고부가가치의 첨단장비는 전량 수입에 의존하고 있다"며 "국산화에 이바지할 수 있는 차세대 공정 장비 핵심기술을 통해 소자기술에만 집중된 국내 반도체 산업의 불균형을 해소하겠다"고 말했다.

이번 연구결과는 응용물리분야 국제학술지 '어플라이드 피직스 리뷰'에 게재
출처 : 해외 네티즌 반응 - 가생이닷컴https://www.gasengi.com


가생이닷컴 운영원칙
알림:공격적인 댓글이나 욕설, 인종차별적인 글, 무분별한 특정국가 비난글등 절대 삼가 바랍니다.
호갱 18-04-12 19:12
 
노벨상 받는거 아님?
스크레치 18-04-12 19:39
 
연구진분들은 언제나 응원합니다.
귀요미지훈 18-04-12 21:53
 
와우~!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
nigma 18-04-12 22:37
 
관련 지식이 없어 잘 모르겠습니다만 어쩌면 우리보다 후발주자들에게 더 도움이 되는 것인지도 모르겠네요.
좋은비 18-04-13 15:39
 
정말 노벨상감 아닌가 생각이 듭니다

공정쪽으로 경험과 노하우가 있어야된다고 하던 기술적 난제를 직접적으로 제어하고 기계를 만들었다는거에 대해

서 높히 평가되지만 만약에 짱게국에 저기술이 노출되는날에는 우리에게는 재앙이 오지 않나 싶네요

기술을 잘 관리 해야겠네요

그리고 우리나라 업체가 특허를 사서 우리기업에게만 팔면 되지만 현실은 ㅜㅜ
잔잔한파도 18-04-14 04:30
 
좋은 소식이네요.
 
 
Total 4,363
번호 제목 글쓴이 날짜 조회
공지 경제게시판 분리 운영 가생이 01-01 19659
4363 [기타경제] 韓 '30-50클럽' 7번째 회원… 다른 나라의 현황은? (11) 스크레치 10:19 1371
4362 [전기/전자] 삼성전자, 2000만 화소 고화질 이미지센서 '아이소셀 … (7) 스크레치 01-22 2668
4361 [과학/기술] KAIST, 초소형·저전력 삼차원 영상센서 핵심기술 개발 (3) 진구와삼숙 01-22 1537
4360 [전기/전자] 삼성디스플레이 차세대 먹거리 `QD-OLED` 개발성공 (17) 스크레치 01-22 3105
4359 [기타경제] 베트남 총리, 삼성전자에 “베트남에 지속 투자해달라”… (12) 스크레치 01-22 3353
4358 [전기/전자] 5G로 본격화되는 자율주행, 삼성-LG, 전장부품 가속 페달 … (1) 스크레치 01-22 879
4357 [기타경제] 中정부 '경기 살리기' 안간힘 (5) 굿잡스 01-22 2053
4356 [기타경제] 농심, 美 라면시장서 쾌속 질주. (2) 스쿨즈건0 01-22 1511
4355 [자동차] [현대차그룹 中에 변속기 공장] 中 친환경차 시장 급성장… (2) 스쿨즈건0 01-22 1497
4354 [과학/기술] 日-EU도 보조금 주면서‥한국 ‘해운-조선 로드맵에 딴지… (3) 스쿨즈건0 01-22 1782
4353 [자동차] 현대·기아차, 작년 러시아서 40만대 첫 돌파 (3) 스크레치 01-21 1174
4352 [기타경제] "미중 '지식재산권·기술이전' 협상 진전 없다" (2) 굿잡스 01-21 1474
4351 [전기/전자] 글로벌 주도권 잡은 韓배터리…반도체 역사 따른다 (16) 스크레치 01-21 3882
4350 [자동차] [르포]세계 최대 자율주행차 기술개발 산실 ‘K-시티’ (3) 스크레치 01-21 1739
4349 [전기/전자] LG전자, 롤러블TV 이어 롤러블폰 출시 속도 낸다 (5) 스크레치 01-21 1420
4348 [전기/전자] 유럽 최대 시장 독일도 화웨이 장비 사용 금지 고려 (1) 스크레치 01-21 905
4347 [기타경제] 나카니시 히로아키 회장 "日기업과 정부는 운명공동체…… (6) 스쿨즈건0 01-21 2515
4346 [기타경제] 中 "6년간1조달러 미국산 제품 구매" (1) 스쿨즈건0 01-21 1578
4345 [전기/전자] 中기업 공세에 ‘직격탄’, 작년 휴대전화 수출액 23% 줄… (2) 스쿨즈건0 01-21 1638
4344 [기타경제] 중국, 미얀마 대규모 수력발전 재추진…지역주민 등 반… (1) 스쿨즈건0 01-21 1125
4343 [전기/전자] 삼성 vs TSMC···막오른 7나노 기술경쟁 (12) 스크레치 01-20 3738
4342 [기타경제] 프랑스의 반격..日정부에 닛산-르노 경영통합 추진 방침 … (4) 굿잡스 01-20 2818
4341 [과학/기술] 현장에서 바로 진단 가능한 AI 바이러스 검출 신기술 개… (2) 진구와삼숙 01-20 989
4340 [전기/전자] '디스플레이 강국' 日 놀래킨 LG의 '롤러블' (7) 스크레치 01-20 3537
4339 [전기/전자] 훙하이, 미중 무역마찰 여파 중국서 5만명 조기 감원 (1) 굿잡스 01-20 2274
 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  >