에스앤에스텍이 이번에 개발한 풀사이즈 EUV 펠리클은 89~90%의 투과율을 보이는 것으로 알려졌다.
국내에서 투과율 90%를 넘긴 EUV 펠리클을
개발한 건 이번이 처음이다. 국내 업체 중에서는 에스앤에스텍, 에프에스티(FST) 두 업체가 EUV 펠리클을 개발해왔다.
에프에스티도 현재 투과율 90%를 달성하는 EUV 펠리클 개발에 주력하고 있다.
http://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=14524