수소/헬륨 포함 불산 순도 정제는 5N~6N이 최대 한계.
일본 기업 피셜 주장으로는 수소/헬륨 빼면 9N, 12N 이라는 얘기.
ArF에서 8nm까지 4N 순도 씁니다.
EUV를 도입해서 반도체 양산 가능한 불산 구매처는 삼성, TSMC 2개 기업만 있음.
심지어 사용량도 EUV 공정은 3~4 레이어 수준으로 적음.
삼성이 가장 적용 범위가 넒은 Full EUV라고 하는 것도 7~8레이어 수준임.
향후 D램에 EUV 적용해도 1레이어에만 극소 적용함.
그 외에는 전부 ArF로 함.
기대치보다 적은 사용량에 및 2개의 거래처를 위해 투자할 기업이 없으니 선점 상태.
정제 기술은 거의 대다수의 중화학 기업들이 할 수 있습니다.
고순도 정제를 해 봐야 판로가 없는거죠.
하이닉스는 용인 반도체 클라스터에서 SK가 직접 4N 불산 생산한대요.
삼성이 요청하면 캐파 확충해서 삼성 물량도 공급할 수 있다고...
하필이면 반도체 클라스터 계획 끝나고 토목 공사 계획 잡고 있는데 일본이 소재 산업을 두둘겨서 국제법상으로도 적법한 6조원 투자 크리티컬.
심지어 철옹성이던 한국의 환경법까지 바꾸게 될 계기가 되어 버림 ㅠㅜ