http://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=101&oid=016&aid=0001278828
삼성전자가 파운드리 사업부문의 미세공정 경쟁력 강화를 위해 오는 11월 6조원을 투입해 연면적 10만평
규모의 화성공장 18라인을 조기 착공한다. 화성 공장의 신축은 당초 내년으로 점쳐졌지만 급증하는 반도체
수요에 선제적으로 대응키 위해 조기착공이 전격적으로 결정됐다. 오는 2019년 하반기 준공이 목표다. 건물
은 지하2층 지상 13층으로 지어진다. 투자규모는 6조원이다. 새로 지어지는 '18라인'에는 EUV(극자외선 노
광장비) 수십대가 배치될 예정이다. 대당 가격은 2000억원에 이른다. 삼성전자는 세계최초로 4나노미터 미
세공정 로드맵을 내놓은 바 있는데, 7나노 이하 공정에서는 EUV 장비가 반드시 필요하다.
노광장비 수십대 ㄷㄷ