동진쎄미켐은 최근 삼성전자 EUV PR 신뢰성 시험(퀄)을 통과한 것으로 19일 알려졌다. 이 사안에 정통한 업계 관계자는 “동진쎄미켐이 경기 화성 공장에서 EUV PR를 개발했고, 이를 삼성전자 화성 EUV 라인에서 테스트해 최종 퀄을 받았다”면서 “기술 수준이 높은 EUV PR를 양사 협력으로 신속히 개발할 수 있었다”고 밝혔다.
국내에서 불화크립톤(KrF)과 불화아르곤(ArF) 공정용 PR는 양산하고 있었지만 보다 미세한 회로를 그릴 수 있는 EUV용 PR는 전무했다. 그만큼 개발이 어려웠기 때문이다. 국내에서 사용하는 EUV PR는 대부분 일본에서 수입했다.
동진쎄미켐은 2019년 일본 수출 규제 후 EUV PR 개발에 박차를 가했다. 기존 불화아르곤 노광기 등 자체 인프라와 벨기에 반도체 연구소 아이멕(IMEC) EUV 장비 등을 활용, EUV PR 국산화에 나섰다. 올해 초 EUV PR 전문인력을 보강하며 기술 개발에 속도를 냈다. 여기에 삼성전자가 EUV 테스트 환경을 적극 지원해 현장에서 활용할 수 있는 수준의 품질 고도화를 이뤄냈다. 업계 관계자는 “2년 만에 EUV PR 개발에 성공한다는 자체가 상당히 어려운 일”이라며 “(EUV PR 퀄 통과는) 삼성전자 협력이 뒷받침 된 성과”라고 평가했다.
https://n.news.naver.com/mnews/article/030/0002988652?sid=001
작성일 : 21-12-20 04:46
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